글로벌 최선단 반도체 EUV 펠리클 시장, High-NA EUV 본격 가동, sub-2nm 공정 미세화 및 카

 

생성형 AI 가속기, 프리미엄 스마트폰 AP, 고성능 컴퓨팅(HPC)용 초미세 반도체의 기하급수적인 수요 증가에 따라, sub-3nm에서 2nm, 1.4nm(A14 노드) 세대의 양산 수율을 결정짓는 핵심 반도체 소재인 'EUV 펠리클（Pellicles for EUV Reticles / EUV Pellicle）' 시장이 고부가가치 기술 집약형 성장 가속도 구간에 진입했습니다. 2025년에 약 9,534만 달러 규모로 평가된 동 시장은 예측 기간 동안 연평균 성장률(CAGR) 9.3%의 고성능 성장을 지속하여 오는 2034년에는 1억 7,500만 달러 규모의 메가 반도체 공정 소재 시장을 형성할 전망입니다. 시장 조사 기관인 Semiconductor Insight의 최신 보고서에 따르면, 네덜란드 ASML이 주도하는 차세대 'High-NA(고개구율) EUV 노광 장비'의 전면 도입과 노광 광원의 초고출력화(600W~1kW 이상) 추세가 기존 실리콘 기반 펠리클에서 카본 나노튜브(CNT)로의 전면적인 세대교체와 시장 성장을 주도하고 있습니다.

EUV 펠리클은 13.5nm 파장의 극자외선(EUV) 노광 공정 중, 반도체 회로의 원판인 フォト마스크(레티클)에 미세 파티클이나 이물질이 붙는 것을 차단하여 웨이퍼 생산 수율(Yield)을 극대화하는 미션 크리티컬(Mission-critical) 방진 부품입니다. 극자외선은 대부분의 물질에 흡수되는 성질이 강하기 때문에, 펠리클은 50나노미터(nm) 이하의 초박막 구조를 유지하면서도 90%~94% 이상의 초고투과율을 만족해야 하며, 진공 상태에서 1kW 이상의 고출력 레이저가 유발하는 극심한 열적 부하(1,500°C에 육박하는 환경)와 기계적 충격을 견뎌내는 나노 소자 공학의 결정체입니다.

High-NA EUV 공정 고도화와 600W~1kW급 광원 출력이 유발하는 소재 패러다임 시프트

• High-NA EUV 시스템 대응 필수 기술: 개구율(NA)을 0.33에서 0.55로 격상시킨 High-NA EUV 공정이 초미세 파운드리 라인에 본격 도입됨에 따라, 초점 심도가 얕아지고 광 에너지가 한곳에 집중되는 현상이 심화되었습니다. 이로 인해 기존의 다층 실리콘(MoSi₂/Si) 계열 펠리클은 열 변형 및 파손 한계에 봉착하여 신소재 대체 수요를 압박하고 있습니다.

• 카본 나노튜브(CNT) 펠리클의 상용화 가속: 벨기에 imec 연구소와 미쓰이 화학, 핀란드 카나투(Canatu) 등의 글로벌 동맹을 통해 1kW 이상의 고출력 광원에서도 열화되지 않는 'CNT 펠리클' 생산 설비(연간 5,000장 규모의 매스 프로덕션 팹 등)가 2025~2026년 기점으로 본격 가동되었습니다. CNT 펠리클은 기존 복합 펠리클 대비 웨이퍼 처리 처리량(스루풋)을 약 8~15% 상향시키는 고부가 가치를 증명했습니다.

시장 세분화 분석: 투과율 90% 이상의 선단 펠리클 지배, 첨단 파운드리 어플리케이션이 마켓 견인

본 보고서는 EUV 펠리클의 광학 투과율 등급(타입), 주요 반도체 제조 기업의 생산 형태(어플리케이션), 신소재 구조 기술별 정밀 세분화 데이터를 포함하고 있습니다.

세부 부문 분석:

• 제품 유형 및 투과율별 (By Type)

• 투과율 90% 이상 (≥90% Transmission Rate Pellicles: EUV 광량 손실을 극한으로 줄여 노광 장비의 생산 효율을 담보하는 필수 스펙으로, 현재 2nm/3nm 로직 칩 및 첨단 DRAM 양산라인의 표준 규격으로 시장 장악)

• 투과율 90% 미만 (<90% Transmission Rate Pellicles: 구세대 공정 및 테스트 인스펙션 장비의 필터용)

• 적용 분야별 (By Application)

• 파운드리 (Foundry: TSMC 등 최선단 파운드리 업체를 중심으로 AI 가속기 및 초고성능 모바일 AP 양산을 위한 EUV 및 High-NA 장비 도입이 대거 집중됨에 따라, 전체 시장에서 가장 압도적인 점유율 기록)

• IDM (Integrated Device Manufacturers: 삼성전자의 GAA 공정 안착 및 첨단 HBM용 고집적 DRAM(1b/1c 노드 이상) 라인의 EUV 적용 레이어 증가에 따라 지속적인 소비량 증가 추세)

경쟁 환경: 미쓰이 화학의 독주 체제 속 한국 에스앤에스테크의 추격, 공급망 생태계 동맹 심화

EUV 펠리클 시장은 노광 장비 공급사인 ASML의 엄격한 최종 스캐너 장착 승인(Site Acceptance Test 및 제3자 인증)을 획득해야 하므로 전 세계적으로 극소수 플레이어만이 참여하는 고도의 기술 과점 구조를 띠고 있습니다. 글로벌 독점권을 기반으로 시장을 선도하는 일본의 미쓰이 화학(Mitsui Chemicals)이 실리콘계 펠리클의 안정적 공급에 이어 이와쿠니-오타케 공장에 차세대 CNT 펠리클 양산 허브를 완공하며 독주 체제를 공고히 하고 있습니다. 이에 대응하여 한국의 에스앤에스테크(S&S Tech)와 에프에스티(FST)가 삼성전자 등의 지분 투자를 발판 삼아 90% 이상 투과율의 펠리클 국산화 및 핀란드 Canatu사의 CNT 합성 리액터 도입을 통해 차세대 라인업 확보에 총력을 기울이고 있습니다. 또한 토판 포토마스크(Toppan Photomasks), 호야(Hoya), 신에츠(Shin-Etsu) 등 일본의 마스크 소재 거인들과 TSMC, 삼성전자, 인텔, imec 간의 첨단 패터닝 기술 얼라이언스가 긴밀하게 맞물려 가동 중입니다.

보고서에 프로파일된 주요 글로벌 제조업체는 다음과 같습니다:(※지정해 주신 조건에 따라 영어 ➔ 日本語 ➔ 한국어 순으로 표기했습니다)

• Mitsui Chemicals

• 三井化学株式会社（日本：EUVペリクル市場の世界シェア圧倒的リーダー。ASMLからのライセンス供与を受け世界に先駆けて商業生産を開始。従来のシリコン系に加え、透過率92%以上・1kW超の耐光性を持つ次世代「CNTペリクル」の量産体制を完了し覇権を握る）

• 미쓰이 화학 (Mitsui Chemicals)

• S&S Tech

• 株式会社エスアンドエステック（韓国：ブランクマスクおよびペリクルの大手メーカー。サムスン電子等の出資を受け、透過率90%超のEUVペリクルの完全国産化および量産体制の拡充に注力する韓国半導体サプライチェーンの中核）

• 에스앤에스테크 (S&S Tech)

• Canatu

• カナツ（フィンランド：カーボンナノチューブ（CNT）材料技術の世界的パイオニア。世界独自のダイレクト・ドライ・デポジション（Direct Dry Deposition）プロセスを有し、EUVペリクルおよび検査メンブレン用の最高品質CNT膜を製造するリアクターをFST等のアジアのメーカーへ供給・ライセンス展開）

• 카나투 (Canatu)

• ASML (ASML Holding N.V.)

• ASML（オランダ：世界唯一のEUV・High-NA EUV露光装置メーカー。ペリクル技術の仕様策定および認証（PELMISシステム等）を完全にコントロールする、イメージングエコシステムの絶対的支配者）

• ASML (ASML Holding N.V.)

• TSMC (Taiwan Semiconductor Manufacturing Company)

• TSMC（台湾：世界最大の専業ファウンドリ。EUVペリクルの世界最大の消費者であり、自社内でのペリクル内製技術の開発や、世界の主要材料ベンダーとの緊密な検証アライアンスを先導）

• TSMC (Taiwan Semiconductor Manufacturing Company)

• FST (Fine Semitech Co., Ltd.)

• 株式会社エフエスティー（ファインセミテック）（韓国：半導体チラーおよびペリクルの有力サプライヤー。フィンランドCanatu社からCNT半導体リアクター（CNT100 SEMI）をいち早く導入し、次世代超高透過率CNTペリクルの量産承認（SAT）を進めるキー企業）

• 에프에스티 (FST)

• Shin-Etsu Chemical

• 信越化学工業株式会社（日本：半導体シリコンウエハおよびフォトレジストの世界最大手。最先端のフォトマスク用材料、石英基板、およびEUV周辺材料テクノロジーにおいて極めて強力な技術ポートフォリオを保有）

• 신에츠 화학 (Shin-Etsu Chemical)

• Toppan Photomasks (Toppan Photomasks, Inc. / トッパン・フォトマスク株式会社)

• トッパン・フォトマスク（日本：世界最大級の独立系フォトマスクサプライヤー。最先端ファウンドリやIDM向けに、EUVペリクルを装着した高精度フォトマスクの一体型ソリューションを提供）

• 토판 포토마스크 (Toppan Photomasks)

• Hoya Corporation

• HOYA株式会社（日本：EUV用ブランクマスク（フォトマスクの材料）で世界シェアの大半を占める圧倒的巨人。光学ガラス・精密薄膜技術をベースに、EUVペリクルやレチクル検査の次世代クオリティコントロールに多大な影響力を持つ）

• 호야 (Hoya Corporation)

• Samsung Electronics

• サムスン電子（韓国：世界最大のメモリ（DRAM/NAND）メーカーであり最先端ファウンドリ。自社GAA（Gate-All-Around）プロセスおよび次世代DRAMへのEUV適用拡大に向け、S&S Tech等のエコシステムを強力にバックアップ）

• 삼성전자 (Samsung Electronics)

• Intel Corporation

• インテル（米国：IDMの代表格であり、「Intel 14A」などの最先端プロセスでのHigh-NA EUV装置の業界初동導入ランナー。米国国内の先端半導体製造サプライチェーン（CHIPS法による支援）における主要需要家）

• 인텔 (Intel Corporation)

• imec (Interuniversity Microelectronics Centre)

• imec（アイメック）（ベルギー：世界最高峰の国際半導体研究開発コンソーシアム。三井化学やASML等と共同で、1kW超の次世代高出力光源に対応するCNTペリクルの基礎研究、光学性能評価、および先端プロセスへの統合ロードマップを構築）

• 아이멕 (imec)

• SK Hynix

• SKハイニックス（韓国：HBM（高帯域幅メモリ）をリードするメモリ半導体大手。10nmクラス（1b/1c世代以降）の先端DRAM製造プロセスへのEUV適用レイヤー拡大に伴い、EUVペリクルの安定的調達先を開拓中）

• SK 하이닉스 (SK Hynix)

• Entegris

• インテグリス（米国：半導体高度材料処理・汚染制御ソリューションのグローバル大手。レチクル（フォトマスク）を搬送する極めてクリーンなポッド（EUV-RSP）や、ペリクル周辺部材のガス放出（アウトガス）防止ソリューションを提供）

• 인테그리스 (Entegris)

• Advanced Energy Industries

• アドバンスト・エナジー・インダストリーズ（米国：半導体製造装置用高精度電源・プラズマ電源制御の世界的リーダー。EUV光源の安定駆動、薄膜ペリクルの精密な真空成膜プロセス、または高度な計測・インスペクションシステム向け電源ソリューションを提供）

• 어드밴스드 에너지 (Advanced Energy Industries)

권역별 아웃룩: 아시아 태평양이 선단 파운드리 클러스터와 포토마스크 밸류체인을 기반으로 마켓의 80% 이상 독점

• 아시아 태평양 권역 (글로벌 EUV 생태계의 허브): 대만(TSMC)과 한국(삼성전자, SK하이닉스) 등 전 세계에서 EUV 리소그래피 라인을 가장 적극적으로 운용하는 대형 파운드리 및 메모리 생산 팹이 밀집해 있으며, 이를 뒷받침하는 일본(미쓰이화학, 호야, 신에츠 등)의 초정밀 반도체 소재 공급망이 완벽히 수직 계열화를 형성하고 있어 글로벌 시장의 절대적인 생산 및 소비를 독점하고 있습니다.

• 북미 권역: 미국 정부의 CHIPS 법안 재정 지원에 힘입어 인텔의 메가팹 확장, TSMC 및 삼성전자의 미국 내 최선단 파운드리 팹(애리조나, 텍사스) 건설이 가시화되면서, High-NA EUV의 초기 가동 및 차세대 AI 가속기 칩 패터닝 최적화를 위한 핵심 수요처로 부상 중입니다.

• 유럽 권역: 전 세계 노광 장비를 독점하는 ASML(네덜란드)과 반도체 나노 테크놀로지 연구의 중심인 imec(벨기에)이 위치하여, 1kW급 이상 차세대 광원용 신소재(CNT 등)의 스펙 표준화와 테스트 베드 인프라 혁신을 진두지휘하고 있습니다.

• 보고서 상세 분석 링크: https://semiconductorinsight.com/report/pellicles-for-euv-reticles-market-2/

• 무료 샘플 보고서 신청 바로가기: https://semiconductorinsight.com/report/pellicles-for-euv-reticles-market-2/

Semiconductor Insight 소개

Semiconductor Insight는 글로벌 극자외선 리소그래피(EUV/High-NA EUV) 장비 인터페이스, 차세대 노광용 포토마스크 및 펠리클 신소재, 클린룸 내부의 초고순도 오염 제어 시스템, 그리고 전 세계 첨단 웨이퍼 파브(Fab) 인프라 부문에 특화된 마켓 인텔리전스와 고부가가치 비즈니스 컨설팅을 제공하는 글로벌 리서치 전문 기관입니다.